회사개요
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사업분야
Silicon Parts
(주)코마테크놀로지는 반도체/디스플레이 장비 내 Silicon Parts를 전공정 모두 직접 제조하고 있습니다.
실리콘 링
Focus Ring, Insert Ring, Hot Edge Ring
실리콘 전극
Electrode
실리콘 일체형 전극
One Piece Electrode
Sapphire Parts
(주)코마테크놀로지는 고경도 사파이어 소재의 내화학성, 내식각성을 통해 식각 및 파티클 이슈가 있는 제품의 소재 변경으로 생산 효율성 증대 및 원가 절감에 혁건한 기여를 하고 있습니다.
사파이어 윈도우
(챔버 뷰포트 윈도우)
사파이어 노즐
(인젝터 / 노즐 / 팁)
사파이어 링
(사파이어 튜브 외 기타 모든 사파이어 제품)
Ceramic Parts
(주)코마테크놀로지는 다양한 분야에 적용 가능한 세라믹류 소재를 통해 새로운 기술의 가능성을 넓혀 나가고 있습니다.
포러스 세라믹
(POROUS CERAMIC VACUUM CHUCK)
세라믹 플런저
(CERAMIC PLUNGER / 고압펌프 피스톤)
세라믹 링, 인슐레이터, 로봇 핸드,
인젝터, 노즐, 본딩 지그, 히터 등 각종 세라믹 제품
코마테크놀로지
Key Technology
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Silicon Parts
반도체 Etching 공정용 실리콘 일체형 전극 내단부 폴리싱 기술
반도체 Etching 공정용 실리콘 전극, 실리콘 링 불산 및 알칼리 에칭 기술
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Sapphire Parts
사파이어 미세홀(0.3mm 이하) 가공 기술
사파이어 곡면 표면조도 향상 기술(곡면 폴리싱)
사파이어, 세라믹 접합기술(사파이어+사파이어, 사파이어+세라믹)
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Ceramic Parts
포러스(다공질)세라믹 베큠척(진공척) 베큠라인설계 및 제조 기술(평탄도 보장)
초미세 유량 측정 기술(노즐)
세라믹 플런저(고압펌프용피스톤) 제조기술(동심도, 직진도 2㎛이내)
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Lapping & Polishing
대구경 세라믹 평탄화 기술(초정밀 랩핑기술)
다이아몬드 윈도우 연마기술(세계최초)
금속 미러 폴리싱 기술(알루미늄, SUS, 초경 외)